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En este proceso, los componentes a limpiar se colocan en una cámara de vacío y se calientan con calefactores. Los parámetros de temperatura y presión del proceso se definen de modo que cualquier posible contaminación de los componentes se vaporice.
En este proceso, la pieza de trabajo se seca con aire comprimido con una soplante de canal lateral. El caudal volumétrico y la presión del caudal de aire son fundamentales para el grado de secado. La temperatura del caudal de aire también contribuye a la eficacia del proceso de secado.
En este proceso, primero se extrae el aire de la cámara de lavado. Un lavado con inyección de fluido presurizado (16 bar) también limpia las muescas y aberturas huecas ocultas.
Con el secado por vacío, los lugares difíciles de alcanzar, como orificios sin salida, canales de lubricación angostos e incluso pasajes internos, pueden secarse por completo, sin que quede agua residual en las superficies huecas o irregulares. En este proceso, se genera vacío en la cámara de lavado. Cuando la presión cae por debajo de la presión del vapor del fluido que se eliminará, el fluido se evapora y se secan las piezas. La mayor parte del vapor extraído se recupera en un separador de condensado ubicado después de la bomba de vacío. El vapor residual del aire se elimina con la bomba de vacío. Dependiendo de cuán sucias estén las piezas, se emplea un detergente a base de agua o solvente. En algunos casos, se requieren bombas de vacío con certificación ATEX para detergentes a base de solvente que pueden ser de naturaleza inflamable.