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Nesse processo, os componentes a serem limpos são colocados em uma câmara de vácuo e aquecidos por aquecedores radiantes. A temperatura e a pressão do processo são ajustadas para que nenhuma contaminação nos componentes seja vaporizada.
Nesse processo, a peça de trabalho recebe um sopro seco com um soprador de canal lateral. O volume do fluxo e a pressão da corrente do ar são essenciais para o grau do ressecamento. A temperatura da corrente do ar também contribui para a eficácia do processo de secagem.
Nesse processo, primeiro o ar é evacuado da câmara de lavagem. Uma lavagem com fluido de injeção pressurizado (16 bar) também limpa rebaixos e passagens ocas escondidas.
Com secagem por vácuo, locais difíceis como furos cegos, canais de lubrificação estreitos e até mesmo passagens internas podem ser totalmente secos, sem deixar água residual em cavidades ou superfícies desniveladas. Nesse processo, o vácuo é criado na câmara de lavagem. Quando a pressão fica abaixo da pressão do vapor do fluido a ser removido, o fluido evapora e as peças são secas. A maior parte do vapor removido fica preso em um separador de condensação posterior da bomba de vácuo. O vapor residual no ar é eliminado pela bomba de vácuo. Dependendo do nível de sujeira das peças, emprega-se um detergente à base de água ou solvente. Em alguns casos, as bombas de vácuo aprovadas pela ATEX são necessárias para detergentes à base de solvente, que podem ser explosivos por natureza.
